TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)，PEPS II建立在TMC的*利PEPS（精密電子定位系統(tǒng)）基礎(chǔ)上并對(duì)其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器，PEPS II更易于使用，提供了更多功能，還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。

TMC主動(dòng)空氣消振器，Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對(duì)原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計(jì)，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個(gè)專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用（如顯微光刻、檢測(cè)和計(jì)量工具）的數(shù)字用戶界面。

TMC空氣隔振器，TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設(shè)計(jì)師的*選解決方案。TMC現(xiàn)在提供行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器，它們有不同的承重能力、阻尼水平和調(diào)平版本可供選擇，適合各種應(yīng)用。